韩媒：三星研究用于芯片生产的聚焦环新材料
时间：2022-04-24 12:39:04 来源：C114通信网 阅读量：12249
据韩媒TheElec报道，三星正在研究和开发一种用于制造聚焦环的新材料。
聚焦环是晶圆制造蚀刻过程中使用的商品它将晶圆固定在适当的位置以保持等离子体密度并防止晶圆侧面受到污染
过去，石英和硅用于制造聚焦环但伴随着在先进晶圆制造中使用干法蚀刻而不是湿法蚀刻的情况有所增加，对由碳化硅制成的聚焦环的需求也在增加
SiC环比纯硅环更耐用，使用寿命更长，这有助于公司降低生产成本SiC环每15到20天需要更换一次，而硅环每10到12天需要更换一次
三星现在正在寻找碳化硼来替代SiC消息人士称，这家科技巨头目前正在与拥有B4C相关技术的合作伙伴合作，对B4C聚焦环进行质量测试
B4C硬度更高，这意味着它们的单位使用时间更长。
可是，三星需要克服可靠性问题消息人士称，在当前阶段，环表面出现了颗粒
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